DXF, DWG, Gerber, GDS, OASIS 등
다양한 형식을 지원하며, 아래 권장 사항은 참고용입니다.
이 형식들은 마스크 설계에 가장 안전하고 변환이 최소화되는 포맷입니다.
마스크 제작소의 제조 격자(예: 250nm, 125nm, 62.5nm, 50nm, 25nm, 5nm)의 배수가 되는 uniform grid에 설계를 배치하세요.
마스크 가장자리는 최소 7mm의 여백을 두어야 합니다.
패턴은 마스크의 중심에 맞춰야 합니다.
선분들의 집합이 다각형처럼 보일 수 있으나, 마스크 제작에는 실제 POLYGON이 필요합니다.
엣지는 X축과 Y축에 평행해야 합니다.
중간 크기의 원은 32개 이하, 작은 원은 8~16개 정도가 적절합니다.
곡선이 없는 SAN-SERIF FONT를 사용하거나 텍스트를 TEXT ELEMENT로 남기세요.
설계의 계층 구조를 활용하여 실수 가능성을 줄이고 처리 속도를 향상시킵니다.
각 마스크의 반복되는 패턴은 별도의 레이어로 분리하여 관리합니다.
모든 설계는 하나의 파일로 그룹화하여 제출하세요.
설계 파일 해석에 필요한 정보를 제공하는 양식입니다.
각 마스크에 최소한 하나 이상의 CD를 지정하여 규격 인증 및 톤과 PARITY 확인에 도움을 줍니다.
색상 대신 숫자로 레이어를 식별하세요.
톤 반전을 위한 기준 도형을 지정하세요.
전체 레이아웃과 톤이 고객의 요구 사항에 부합하는지 확인한 후 승인하세요.