Axmovia는 다양한 고객의 니즈를 충족하며, 간단한 Gerber 파일부터 복잡한 OASIS 패턴 데이터까지 다양한 형식의 주문을 처리합니다. 복잡한 마스크 설계가 아니면 간단한 프로세스를 통해 제작이 가능하며, 아래의 권장 사항을 따라주시면 제작 과정이 원활해집니다.
이 내용은 필수 사항이 아닌 권장 사항입니다. 이해되지 않는 부분이 있거나 도움이 필요하시면 언제든지 저희에게 상담해 주세요.
이 형식들은 마스크 설계에 가장 안전하고 변환이 최소화되는 포맷입니다.
마스크 제작소의 제조 격자(예: 250nm, 125nm, 62.5nm, 50nm, 25nm, 5nm)의 배수가 되는 uniform grid에 설계를 배치하세요.
마스크 가장자리는 최소 7mm의 여백을 두어야 합니다.
패턴은 마스크의 중심에 맞춰야 합니다.
선분들의 집합이 다각형처럼 보일 수 있으나, 마스크 제작에는 실제 POLYGON이 필요합니다.
엣지는 X축과 Y축에 평행해야 합니다.
중간 크기의 원은 32개 이하, 작은 원은 8~16개 정도가 적절합니다.
곡선이 없는 SAN-SERIF FONT를 사용하거나 텍스트를 TEXT ELEMENT로 남기세요.
설계의 계층 구조를 활용하여 실수 가능성을 줄이고 처리 속도를 향상시킵니다.
각 마스크의 반복되는 패턴은 별도의 레이어로 분리하여 관리합니다.
모든 설계는 하나의 파일로 그룹화하여 제출하세요.
설계 파일 해석에 필요한 정보를 제공하는 양식입니다.
각 마스크에 최소한 하나 이상의 CD를 지정하여 규격 인증 및 톤과 PARITY 확인에 도움을 줍니다.
색상 대신 숫자로 레이어를 식별하세요.
톤 반전을 위한 기준 도형을 지정하세요.
전체 레이아웃과 톤이 고객의 요구 사항에 부합하는지 확인한 후 승인하세요.
