Si / Poly-Si
단결정 / 다결정 실리콘
App
Deep Trench · FinFET / GAA 채널 · 게이트 전극
WET
KOH · TMAH 계열
DRY
HBr · Cl₂ · SF₆ 계열
맞춤 설계 지원 · 최적화 컨설팅
포토마스크 라인업 & 기술 자료
Unit & Turn Key 컨설팅 및 프로젝트 실적 예시
기술 가이드 및 용어
다양한 응용 분야에서 축적한 습식(Wet) & 건식(Dry) 식각 레퍼런스를 바탕으로, 고객사의 요구 사양에 맞는 프로세스 솔루션을 함께 설계합니다.
소자의 격자와 절연을 형성하는 대표 유전체 소재
로직·메모리 신호 배선을 담당하는 주요 메탈 소재
확산 방지 및 미세 패터닝용 대표 차단막 소재
전력 반도체·화합물 통신 소자용 난식각성 소재
포토마스크 기판 및 하드마스크 관련 특수 소재
아래 소재군은 과거 프로젝트에서 부분 대응한 이력이 있는 참고 목록입니다. 실제 적용 가능 여부·조건·수율은 시료·스택 구조·요구 사양에 따라 달라지므로 반드시 사전 검토 절차를 거쳐 회신드립니다.
상기 목록은 대응 이력 기반의 참고 자료이며, 소재 조합·스택 구조·장비 환경에 따라 실제 결과가 달라질 수 있습니다. 신규 소재 및 특수 스택은 별도 Feasibility Study 진행 후 회신드립니다.