설계 파일에 포함된 pattern 외에도, 마스크 제작을 원활하게 진행하기 위해 몇 가지 추가 정보를 함께 알려주시면 좋습니다. 아래 항목들은 마스크 공정 시 참고되는 주요 내용입니다:
- Pattern orientation: 패턴의 기준 방향
- Polygon tone: 다크 필드 또는 브라이트 필드 여부
- Layer mapping: 설계 레이어와 마스크 레이어의 대응 관계
해당 내용등은 우측의 mask order form 엑셀 양식에 일부 또는 전체에 기입하실 수 있으며, 만약 작성이 어렵거나 문의사항이 있다면 언제든지 저희에게 편하게 문의해 주세요. 함께 검토해드리겠습니다.
