설계 파일에 포함된 pattern 외에도, 마스크 제작을 원활하게 진행하기 위해 몇 가지 추가 정보를 함께 알려주시면 좋습니다.
- Pattern orientation: 패턴의 기준 방향
- Polygon tone: 다크 필드 또는 브라이트 필드 여부
- Layer mapping: 설계 레이어와 마스크 레이어의 대응 관계
해당 내용 등은 우측(모바일에서는 아래)의 mask order form 엑셀 양식에 일부 또는 전체에 기입하실 수 있습니다. 언제든지 저희에게 편하게 문의해 주세요.
※ 자세한 배경과 체크포인트는 지식공유 > “전문가 설계 지원이 필요한 이유” 서브메뉴를 참조하세요.
