What is the Photomask?

  1. 1 포토리소그래피 공정에서 정밀한 패턴을 기판에 전사하는 데 사용되는 핵심 마스터 템플릿
  2. 2 반도체, MEMS, 디스플레이 등 다양한 산업 분야에 필수
  3. 3 블랭크마스크노광 · 현상 · 식각 · 세정 · 검사 공정을 거쳐 제작
  4. 4 높은 치수 정밀도와 신뢰성이 요구되는 정밀 패터닝에 적합
  5. 5 연구개발부터 양산까지 전 공정에서 활용되는 핵심 소재
Method of stepper
Area which can
exposed at once
EXPOSING  ·  Beam scanning wafer surface